日本UNION非接觸式測量工具顯微鏡
HISOMET系列工具顯微鏡為一專業X、Y、Z軸座標測量顯微鏡，X、Y工作臺行程由50×50mm到大行程500×500mm，放大倍數由5×至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測量時的精度，Z軸對焦采用一磚利光學“裂像指示器”，結合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導軌，可測范圍25 mm，精度高達1μm，配合特殊附件，測量分解度更可達0.5μm或0.1μm。
非接觸式測量顯微鏡
對焦清楚后如下圖：
應用實例：
技術規格：
| 型 號 |
DH II |
| 工作臺行程mm |
50×50 |
100×100 |
100×200 |
150×150 |
150×300 |
300×300 |
500×500 |
| Z軸測量范圍 |
25mm |
25mm |
25mm |
25mm |
25mm |
25mm |
25mm |
| X、Y、Z軸數顯分解度 |
0.001mm |
| Z軸讀數裝置 |
內置數顯表／外置數據處理系統 |
| 反射照明系統 |
內置LED／外置冷光源 |
| 標準目鏡 |
NWF10X |
| 標準物鏡（W.D.12mm） |
PLM10X |
| 讀數系統 |
簡易座標讀數器 |
| 多功能數據處理器 |
| 測量軟件電腦系統 |
| 選購物鏡 |
PLM3X(W.D.8.5mm), PLM5X(W.D.19mm),
PLLWDM20X (W.D.11.2mm), PLLWDM40X(W.D.10mm),
SPLM50X (W.D.1.5mm), PLLWDM100X (W.D.5.0mm),
SPLM100X(W.D.1.0mm) |